面积（m²）

洁 净 度

100级和高于100级

1000级

10000级

100000级

小于10

2~ 3

2

2

2

10

4

3

2

2

20

8

6

2

2

40

16

13

4

2

100

40

32

10

3

200

80

63

20

6

400

160

126

40

13

1000

400

316

100

32

2000

800

633

200

63